科技部“声表面波材料与器件”项目通过中期检查

近日，科技部高技术中心“战略性先进电子材料”重点专项管理办公室组织专家在无锡对重点研发计划专项“声表面波材料与器件”项目进行了现场中期检查。专家组听取了项目组工作汇报，现场观看了样品和研发生产现场，一致认为项目全面完成了任务书规定的中期研发内容和考核指标，在成果应用方面取得重要进展。

该项目主要面对物联网等领域的高性能无源传感器的需求，实现其在复杂环境和极端环境的多类型传感器集成应用；研发应用于4G、5G移动通讯终端滤波器的高性能压电单晶衬底材料和换能器材料，实现高世代声表面波滤波器的关键技术集成，建立高性能滤波器示范生产线。项目进行到中期，研发出了多种具有强（111）织构的高性能Al/Ti（Ni）多层结构换能器材料，使滤波器功率耐受性提升至35dBm；设计并制备出了大带宽、低插损、小带内波动的滤波器；声表面波器件体积减小至1.1×0.9×0.45mm3; 同时建立了自主知识产权的声表面波材料与滤波器生产线，实现了滤波器的小批量生产。